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技術(shù)文獻(xiàn)
發(fā)布時(shí)間:2021-07-24 15:25:18 人氣:
電阻式半導(dǎo)體氣體傳感器是通過檢測(cè)氣敏元件隨氣體含量的變化情況而工作的。主要使用金屬氧化物陶瓷氣敏材料。隨著近年來復(fù)合金屬氧化物、混合金屬氧化物等新型材料的研究和開發(fā),大大提高了這種氣體傳感器的特性和應(yīng)用范圍。例如:wo3氣體傳感器可檢測(cè)nh3的濃度范圍為5 ppm~50 ppm,zno-cuo氣體傳感器對(duì)200 ppm的co非常敏感。 可分為直接接觸燃燒式和催化接觸燃燒式兩種。其工作原理是:氣敏材料在通電狀態(tài)下,可燃性氣體氧化燃燒或在催化劑作用下氧化燃燒,產(chǎn)生的熱量使電熱絲升溫,從而使其電阻值發(fā)生變化,測(cè)量電阻變化從而測(cè)量氣體濃度。這種傳感器只能測(cè)量可燃?xì)怏w,對(duì)不燃性氣體不敏感。例如,在pt絲上涂敷活性催化劑rh和pd等制成的傳感器,具有廣譜特性,即可以檢測(cè)各種可燃?xì)怏w。接觸燃燒式氣體傳感器在環(huán)境溫度下非常穩(wěn)定,并能對(duì)爆炸下限的絕大多數(shù)可燃性氣體進(jìn)行檢測(cè),普遍應(yīng)用于石油化工廠、造船廠、礦井隧道、浴室、廚房等處的可燃性氣體的監(jiān)測(cè)和報(bào)警。 利用高分子氣敏材料的氣體傳感器近年來得到了很大的發(fā)展。高分子氣敏材料在遇到特定氣體時(shí),其電阻、介電常數(shù)、材料表面聲波傳播速度和頻率、材料重量等物理性能發(fā)生變化。主要有酞菁聚合物、lb膜、苯菁基乙炔、聚乙烯醇-磷酸、聚異丁烯、氨基十一烷基硅烷等。高分子氣敏材料由于具有易操作性、工藝簡(jiǎn)單、常溫選擇性好、價(jià)格低廉、易與微結(jié)構(gòu)傳感器和聲表面波器件相結(jié)合,在毒性氣體和食品鮮度等方面的檢測(cè)中具有重要作用。根據(jù)所用材料的氣敏特性,這類傳感器可分為:通過測(cè)量氣敏材料的電阻來測(cè)量氣體濃度的高分子電阻式氣體傳感器;根據(jù)氣敏材料吸收氣體時(shí)形成濃差電池,測(cè)量電動(dòng)勢(shì)來確定氣體濃度的濃差電池式氣體傳感器;根據(jù)高分子氣敏材料吸收氣體后聲波在材料表面?zhèn)鞑ニ俣然蝾l率發(fā)生變化的原理制成的聲表面波氣體傳感器;以及根據(jù)高分子氣敏材料吸收氣體后重量變化而制成的石英振子式氣體傳感器等。高分子氣體傳感器具有對(duì)特定氣體分子靈敏度高,選擇性好,且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,能在常溫下使用,可以補(bǔ)充其它氣體傳感器的不足。 |
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